SCANNING PROJECTION ALIGNER,申请号JP19970149897-传众专利搜索

发明名称	SCANNING PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号	JPH10326737(A)	申请公布日期	1998.12.08
申请号	JP19970149897	申请日期	1997.05.26
申请人	CANON INC	发明人	KODA TORU
分类号	G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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