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发明名称
MEASURING METHOD FOR CONCENTRATION PROFILE
摘要
申请公布号
JPH10325786(A)
申请公布日期
1998.12.08
申请号
JP19970135128
申请日期
1997.05.26
申请人
NEC CORP
发明人
KAMEYAMA AKIKO
分类号
G01N1/28;G01N1/32;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/10;G01Q60/24;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/28
主分类号
G01N1/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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