具有剪切构件的动态销和使用该动态销的衬底载体

摘要

本发明提供了一种适于阻止衬底载体从动态销移出的动态销和一种衬底载体。动态销上的剪切构件与衬底载体的剪切构件相互作用以阻止衬底载体相对于动态销的横向运动。还提供了一种采用动态销的衬底载体处理装置。

主权项

1.一种用于支承衬底载体的动态销，包括：销体，该销体包括：倾斜表面，其适于与衬底载体的匹配结构的倾斜表面可滑动地连通，并适于使匹配结构位于动态销上并通过重力与动态销横向对准；和剪切构件，其适于阻止产生于衬底载体的横向惯性载荷促使衬底载体的匹配结构与动态销不对准。