发明名称 PROTECTIVE COATING AND METHOD
摘要 본 발명은 (i) 제 1 금속을 포함한 제 1 표면을 갖는 제 1 층; 및 (ii) 상기 제 1 층의 제 1 표면에 직접 결합하고, 상기 제 1 층의 제 1 표면의 적어도 일부를 덮는 제 2 금속의 산화물을 포함한 제 2 층을 포함하고, 여기서: (A) 상기 제 1 층과 상기 제 2 층 사이의 계면은 실질적으로 치밀하고(dense), 불규칙한 토포그래피(topography)을 가지며; (B) 상기 제 2 금속이 상승된 온도에서 제 1 금속의 제 1 표면 상에 증착될 때 상기 제 2 금속은 제 1 금속과 합금을 형성할 수 있는 장치를 제공한다. 상기 장치는 제 1 금속 위에 제 1 금속과 제 2 금속 사이의 합금과 같은 혼합물을 형성한 후 상승된 온도에서 금속 혼합물을 산화시키는 단계를 포함하는 공정에 의해 형성되는 것이 유리하다.
申请公布号 KR101639088(B1) 申请公布日期 2016.07.12
申请号 KR20117007094 申请日期 2009.08.28
申请人 코닝 인코포레이티드 发明人 비스워스, 새미르;카라자베리안, 수잔;매팅리, 윌리암 비 Ⅲ
分类号 C23C28/00;H01L41/083 主分类号 C23C28/00
代理机构 代理人
主权项
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