ダイヤモンド蒸着のための方法

摘要

本発明は、以下の要素：真空源に接続された反応チャンバーを含む真空反応器（３）；反応チャンバー内の少なくとも二次元であるマトリックスに沿って配置された複数のプラズマ源；及び、該反応器内に配置された基板ホルダー（５）、を備えたダイヤモンド蒸着設備を使用して、ナノ結晶ダイヤモンドを堆積するための方法に関し、当該方法は、該堆積が、１００と５００℃の間に含まれる温度で行われることを特徴とする。