| 发明名称 |
MULTIPLE SURFACE INSPECTION SYSTEM AND METHOD |
| 摘要 |
부품의 가동 중 검사(on-the-fly inspection)를 위한 시스템이 제공된다. 상기 시스템은 검사 품목 통과 경로 하부에 배치된 프리즘 구조를 포함한다. 상기 프리즘 구조 하부에 이미지 데이터 시스템이 배치된다. 광 어셈블리는 검사 품목의 다측면들을 조사하기 위한 제1 광원 및 상기 검사 품목의 바닥을 조사하기 위한 제2 광원을 제공한다. |
| 申请公布号 |
KR101650138(B1) |
申请公布日期 |
2016.08.30 |
| 申请号 |
KR20090040375 |
申请日期 |
2009.05.08 |
| 申请人 |
세미컨덕터 테크놀로지스 앤드 인스트루먼츠 피티이 엘티디 |
发明人 |
아마눌라 아자라리;게 한 쳉;탄 훽 초이;라이 힝 팀 |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/89;G02B5/04 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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