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发明名称 Measuring method and inspection method of a circuit or a circuit element, and a device for inspecting a circuit or a circuit element
摘要
申请公布号 KR100936043(B1) 申请公布日期 2010.01.08
申请号 KR20020026350 申请日期 2002.05.14
申请人 发明人
分类号 G01R1/06;G01R31/265;G01R31/01;G01R31/02;G01R31/302;G02F1/13;G02F1/1368;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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