| 发明名称 |
Method for producing flat CVD diamond film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5270077(A) |
申请公布日期 |
1993.12.14 |
| 申请号 |
US19910806389 |
申请日期 |
1991.12.13 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
KNEMEYER, FRIEDEL S.;SLUTZ, DAVID E. |
| 分类号 |
B01J19/00;C23C16/01;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/458;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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