Method and device for light-assisted patterning of porous silicon

摘要

Ein Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bereichs aus porösem Silicium auf einem Substrat, in welchem Silicium mittels Beleuchtung geätzt und strukuriert wird, umfaßt den Schritt, die Beleuchtung wahlweise während oder nach der Ausbildung des porösen Siliciums direkt auf einen ausgewählten Bereich eines p-dotierten Substrats zu richten, um in einem anderen Bereich die Ätzung und Strukturierung porösen Siliciums zu bewirken. Eine Vorrichtung Durchführung des Verfahrens umfaßt eine Beleuchtungseinrichtung zum Unterstützen eines Ätzvorganges und zum Strukurieren des porösen Siliciums, wobei die Beleuchtungseinrichtung wahlweise während oder nach der Ausbildung des porösen Siliciums direkt auf einen ausgewählten Bereich eines p-dotierten Substrats gerichtet ist, um in einem anderen Bereich die Ätzung und Strukturierung porösen Siliciums zu bewirken. <IMAGE>