可在基板上面形成薄膜之方法、其设备及液晶显示装置

摘要

一种用以在基板上面形成薄膜(thin film)之设备，其系包含有：具有气体入口之腔室；在此腔室内之上部电极，此上部电极系具有多数之喷嘴；在此腔室内而可在其上支撑基板之下部电极，此下部电极系与该上部电极相分隔；和在该上部电极上方之选择性注入板，此选择性注入板，系包含有选择性注入阀，其可使透过该气体入口供应之气体，选择集中至部份之上部电极上面。

主权项

一种用以在基板上面形成薄膜之设备，其系包含有：一腔室，系具有一气体入口；一上部电极，系在该腔室内且具有多数之喷嘴；一下部电极，系在该腔室内，且用以在其上支撑基板，此下部电极系与该上部电极相分隔；和一选择性注入板，具有第一及第二注入孔，且该第一及第二注入孔系位于该上部电极上一不同位置之上，且该不同位置相较于彼此具有一不同距离，且一选择性注入阀选择性与该第一及第二注入孔相通，并用以控制使一透过该气体入口供应之一气体在一给定时间时被提供至该上部电极的一所欲部份上。