| 摘要 |
本発明は、リソグラフィーシステム(5)の少なくとも１つのミラー(2,3)の傾斜角(x,y)を測定するための装置(1)に関するものであり、この装置は、パターン(12,12’,35)を発生するためのパターン発生装置(6)と、ミラーによって反射した発生パターン(12,12‘)を記録するための記録装置(22,22’)と、記録したパターン(S,S’)と基準パターン(R,R’)との比較に基づいて比較結果(Vx,Vy)を提供するための比較装置と、比較結果(Vx,Vy)に基づいて傾斜角を特定するための評価装置(27)とを備え、画像記録装置(22,22’)及び比較装置は、同じ集積回路(21,21’)内に設けられている。 |
