| 发明名称 |
A semiconductor trench capacitor structure. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0265616(B1) |
申请公布日期 |
1993.12.15 |
| 申请号 |
EP19870111966 |
申请日期 |
1987.08.18 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
KENNEY, DONALD MCALPINE |
| 分类号 |
H01L21/8242;H01L27/04;H01L21/334;H01L21/822;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/94 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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