Optical duplexer

摘要

Bei einem optischen Duplexer ist auf einer der beiden flachen Seiten eines Trägers (1) aus Silizium eine anisotrop geätzte V-Nut zur Aufnahme eines faserförmigen Lichtwellenleiters (13) vorgesehen. Die Stirnseite (5) der V-Nut begrenzt eine planparallele Platte (15) aus Träger-Material, die auf mindestens einer Seite mit einer Filterschicht versehen ist. Die Rückseite der Platte (15) begrenzt eine Durchtrittsöffnung (7), die durch anisotropes Ätzen zunächst von der Unterseite (11) und dann von der Oberseite (10) des Trägers entstanden ist. Durch diese Verfahrensweise wird erreicht, daß die Dicke der Platte (15) nur von der Breite eines Steges abhängt, der während des Herstellungsprozesses als Teil einer gegen das Ätzmedium resistenten Passivierungsschicht auf der Oberseite (10) des Trägers (1) angebracht wurde. Die Erfindung ist geeignet für Komponenten für die optische Nachrichtentechnik, insbesondere Wellenlängenmultiplexer, für den Modulaufbau auf Silizium-Motherboards und die Mikrosystemtechnik. <IMAGE>