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发明名称 Resist composition
摘要
申请公布号 GB9922063(D0) 申请公布日期 1999.11.17
申请号 GB19990022063 申请日期 1999.09.17
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/022;G03F7/038;G03F7/039 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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