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发明名称 DEVICE FOR DRYING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0983590(A1) 申请公布日期 2000.03.08
申请号 EP19980930690 申请日期 1998.05.14
申请人 STEAG HAMATECH GMBH MACHINES 发明人 WEBER, KLAUS;SPEER, ULRICH
分类号 F26B3/04;F26B3/28;F26B15/04;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 F26B3/04
代理机构 代理人
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