| 摘要 |
В заявке описана пластмасса, которая для возможности изготовления из нее трибологически нагружаемых деталей, прежде всего фиксирующих колец, которые предназначены для крепления полупроводниковых пластин в устройствах для их химико-механического полирования и которые обладали бы заметно большим по сравнению с изготовленными из известных полимерных материалов фиксирующих колец сроком службы, состоит из пластмассовой матрицы и внедренных в нее частиц карбида кремния. В заявке описан также способ изготовления трибологически нагружаемых деталей из подобной пластмассы. |
