摘要 |
Eine monolithische Elektrode (30) beinhaltet einen ersten Abschnitt (32) frei von Öffnungen und einen zweiten Abschnitt (34), der von dem ersten Abschnitt (32) umgeben ist, wobei der zweite Abschnitt (34) einen Steg bzw. eine Stegstruktur (40) aufweist, der eine Mehrzahl von Öffnungen (42) definiert. Ein Verfahren zum Bilden einer Elektrode (30) beinhaltet Bilden eines ersten Elektrodenabschnitts (32) frei von Öffnungen und Bilden eines zweiten Elektrodenabschnitts (34), der einen Steg bzw. eine Stegstruktur (40) aufweist, der eine Mehrzahl von Öffnungen (42) definiert. Der Steg bzw. die Stegstruktur (40) des zweiten Elektrodenabschnitts (32) ist mit dem ersten Elektrodenabschnitt (32) verbunden. |