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经营范围
发明名称
Plasma reactor.
摘要
申请公布号
EP0346168(B1)
申请公布日期
1993.12.15
申请号
EP19890401287
申请日期
1989.05.09
申请人
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
发明人
LEPRINCE, PHILIPPE;CHOLLET, PATRICK;SAADA, SERGE
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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