发明名称 CONTACT OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0799246(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930299803 申请日期 1993.11.30
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 KIN SAIKOU
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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