| 发明名称 |
CLEANING TREATMENT METHOD AND CLEANING TREATMENT EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10340876(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970152270 |
申请日期 |
1997.06.10 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
MATSUSHIMA DAISUKE;KUROKAWA SADAAKI |
| 分类号 |
B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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