一种投影物镜

摘要

本发明提供了一种投影物镜，包括三个凸部和两个腰部，由五个透镜组构成，光焦度分配情况是：正-负-正-负-正，光阑位于第四透镜组和第五透镜组之间，总共采用了3个非球面表面和5片氟化钙玻璃镜片，可有效校正场曲和畸变，得到较好的像质。通过调整正、负透镜组之间的光焦度分配，使得整个投影物镜结构紧凑，总长控制在1300mm以内，有效提高了系统透过率；通过减少氟化钙玻璃，特别是大口径氟化钙玻璃镜片的数量，同时控制镜片的最大半口径，可大大降低加工难度，便于实际加工制造。

主权项

1、一种投影物镜，用于将物面的图案成像在像面上，其特征在于，包括从物面一侧到像面一侧依次排列的：第一透镜组，具有正光焦度，用于扩大入射光束口径，进行轴外像差校正，并同时校正匹兹万场曲；第二透镜组，具有负光焦度，包含一个非球面表面，用于校正场曲和畸变；第三透镜组，具有正光焦度，包含一片氟化钙玻璃镜片，用于校正色差；第四透镜组，具有负光焦度，包含两个非球面表面和一片氟化钙玻璃镜片，用于校正与光阑有关的像差；光阑，用于限制所述投影物镜的最大通光孔径；第五透镜组，具有正光焦度，包含三片氟化钙玻璃镜片，用于平衡色差，以及两片厚透镜，用于校正像面场曲。