| 发明名称 | 合并光刻掩膜的次分辨率辅助特征 | ||
| 摘要 | 合并次分辨率辅助特征包括：接收包括所述次分辨率辅助特征的掩膜图案(10)。选择第一次分辨率辅助特征以与第二次分辨率辅助特征合并。确立合并棒(16)的合并棒宽度。确定所述第一次分辨率辅助特征与所述第二次分辨率辅助特征之间的距离。依据所述距离及所述合并棒宽度确定合并技术。根据所述确认的合并来合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征。 | ||
| 申请公布号 | CN101589391A | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN200680013588.8 | 申请日期 | 2006.02.24 |
| 申请人 | 德州仪器公司 | 发明人 | 肖恩·C·奥布赖恩;张国鸿 |
| 分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘国伟 |
| 主权项 | 1、一种用于合并多个次分辨率辅助特征的方法，其包括：接收光刻掩膜的掩膜图案，所述掩膜图案包括多个次分辨率辅助特征；选择第一次分辨率辅助特征以与第二次分辨率辅助特征合并；确立用于合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征的合并棒的合并棒宽度；确定所述第一次分辨率辅助特征与所述第二次分辨率辅助特征之间在预定方向上的距离；依据所述距离及所述合并棒宽度确认合并技术；及根据所述确认的合并技术合并所述第一次分辨率辅助特征及所述第二次分辨率辅助特征。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯州 | ||