湿蚀刻设备

摘要

一种湿蚀刻设备，至少包含：一蚀刻槽，具有一开口位于该蚀刻槽之一侧壁，该开口用以供一基板进入该蚀刻槽内；一闸门，设于该开口处，该闸门具有一门板，用于遮蔽及暴露出该开口，且该门板系设置成与水平面之间具有一不为零的夹角；一液滴装置，提供一液体，该液滴装置系设置成使该液体顺着该门板，由高处向低处流动；以及一导流片，设置于该开口之下缘，用以防止该液体流入该蚀刻槽内。利用该湿蚀刻设备可除去蚀刻液于基板入口通道处形成之结晶物，解决基板被刮伤或结晶物掉落于基板上的问题。

主权项

一种湿蚀刻设备，至少包含：一蚀刻槽，具有一开口位于该蚀刻槽之一侧壁，该开口用以供一基板进入该蚀刻槽内；一闸门，设于该开口处，该闸门具有一门板，用于遮蔽及暴露出该开口，且该门板系设置成与水平面之间具有一不为零的夹角；一液滴装置，提供一液体，该液滴装置系设置成使该液体顺着该门板，由高处向低处流动；以及一导流片，设置于该开口之下缘，用以防止该液体流入该蚀刻槽内。