| 摘要 |
원료 투입부, 플라즈마 반응부, 단결정 성장부를 구비한 플라즈마 단결정 성장 반응기에, 캐리어 가스를 투입하고, 플라즈마 방전을 실시하여 열플라즈마를 형성하는 단계; 상기 원료 투입부에 단결정 성장을 위한 원료를 연속공정으로 투입하는 단계; 상기 투입된 원료가 열플라즈마의 온도 영역에서 활성화된 기체를 형성하는 단계; 상기 활성화된 기체가 상기 단결정 성장부로 이동하는 단계; 및 상기 활성화된 기체가 상기 단결정 성장부에서 증착되어 단결정이 형성되는 단계;를 포함하는 열플라즈마에 의한 단결정 성장 방법이 제공된다. |
