| 发明名称 | 多极网格离子发射加速器 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于镀膜机上可与同轴磁控溅射靶配套使用的多极网格离子发射加速器，它利用金属环(1)和支撑环的两层金属杆(2)以及金属杆上及外围装有的发热装置(4)(5)和加速电极装置(3)构成一多极网格型离子发射加速器，在磁控溅射离子镀膜中起到离子发射加速及发热作用，以增强镀膜层与基体的结合强度及加快镀膜周期。由于本实用新型偏压采用电子—离子加速—离子结合形式，使基板(工件)所收集到的离子流是靶电流的10—15％。 | ||
| 申请公布号 | CN2164417Y | 申请公布日期 | 1994.05.11 |
| 申请号 | CN93213940.X | 申请日期 | 1993.05.20 |
| 申请人 | 昆明航天科发镀膜公司 | 发明人 | 倪振中 |
| 分类号 | C23C14/35 | 主分类号 | C23C14/35 |
| 代理机构 | 云南省专利事务所 | 代理人 | 孙月红 |
| 主权项 | 1、一种多极网格离子发射加速器，由两个金属环(1)和支撑环的金属杆(2)构成，其特征在于：金属杆(2)沿金属环(1)排列形成内外两层，其内层金属杆外围包覆有一层金属丝网(3)和外层金属杆上分别套装有耐热绝缘管(4)及发热金属丝(5)，从而形成一具有加速电极及发热作用的装置。 | ||
| 地址 | 650206云南省昆明市东郊八公里通字301昆明物资站 | ||