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发明名称 PRODUCTION OF DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号 JPH1129863(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970185044 申请日期 1997.07.10
申请人 CANON INC 发明人 TOYAMA JO
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/54;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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