| 发明名称 |
CLEANING WATER FOR ELECTRONIC MATERIAL, ITS PREPARATION, AND CLEANING OF ELECTRONIC MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1129795(A) |
申请公布日期 |
1999.02.02 |
| 申请号 |
JP19970197781 |
申请日期 |
1997.07.08 |
| 申请人 |
KURITA WATER IND LTD |
发明人 |
MORITA HIROSHI;MIZUNIWA TETSUO;IDA JUNICHI |
| 分类号 |
B08B3/04;B08B3/08;C02F1/50;C11D7/18;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/18 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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