发明名称 PRODUCTION APPARATUS OF ULTRAPURE HYDROGEN GAS
摘要
申请公布号 JPH1129301(A) 申请公布日期 1999.02.02
申请号 JP19970199178 申请日期 1997.07.10
申请人 SUMISHO FINE GAS KK;SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 AOKI KAORU;SASAKI SHUNZO
分类号 B01D8/00;C01B3/50;(IPC1-7):C01B3/50 主分类号 B01D8/00
代理机构 代理人
主权项
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