| 发明名称 |
PROBING DEVICE AND PROBING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10339764(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970151355 |
申请日期 |
1997.06.09 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;ADVANTEST CORP |
发明人 |
SAKATA YUJI;SEKIGUCHI HIDENORI;FUJII AKIRA;MATSUMOTO JUN |
| 分类号 |
G01B21/00;G01B21/20;G01R1/06;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
