发明名称 基板搬送托盘之夹持器
摘要
申请公布号 TWD134185 申请公布日期 2010.04.01
申请号 TW098301855 申请日期 2009.04.24
申请人 爱发科股份有限公司 发明人 中岛铁兵
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本