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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100474984(B1)
申请公布日期
2005.02.24
申请号
KR19970022473
申请日期
1997.05.31
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
SEO, GI HUN
分类号
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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