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发明名称 Photomask using aluminium film and method for manufacturing thereof
摘要
申请公布号 KR100822298(B1) 申请公布日期 2008.04.15
申请号 KR20060035333 申请日期 2006.04.19
申请人 发明人
分类号 G03F1/38;G03F1/54 主分类号 G03F1/38
代理机构 代理人
主权项
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