一种钽酸镓镧晶体的多线切割方法

摘要

本发明提供的一种钽酸镓镧晶体的多线切割工艺，包括以下步骤：检查多线切割机的切割线并调整好切割线间的距离，调试多线切割机，将钽酸镓镧晶体固定到多线切割机的工作台上；采用多线切割机切割钽酸镓镧晶体，将工作台下降至金刚石线网平面上方1-2mm处，依次启动切削液泵、摇摆和工作台，进行切割，得钽酸镓镧晶片；将切割好的钽酸镓镧晶片粗品放入碱液中加热，使钽酸镓镧晶片粗品与胶水脱离，超声波清洗，烘干，得钽酸镓镧晶片。该方法采用多线切割机对晶体进行定向切割，操作简单，切割所得到的晶片表面无明显的划痕，翘曲度较小，晶片厚度均匀，有利于晶片下一步的研磨和抛光。

主权项

一种钽酸镓镧晶体的多线切割方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)切割前准备：检查多线切割机的切割线并调整好切割线间的距离，调试多线切割机，将钽酸镓镧晶体固定到多线切割机的工作台上；(2)切割：采用多线切割机切割钽酸镓镧晶体，将工作台下降至金刚石线网平面上方1‑2mm处，依次启动切削液泵、摇摆和工作台，进行切割，得钽酸镓镧晶片；多线切割机工艺参数为：放线设定张力值为20～50N，收线设定张力值为20～50N，切割速度设定为300～700m/min，补线速度为5～25m/min，进给速度为0.20～0.80mm/min，切割高度为10～120mm，摇摆角度为3.0～10度，摇摆次数为10～30次/分，升降速度为50～200mm/min；(3)后处理：将切割好的钽酸镓镧晶片粗品放入碱液中加热，使钽酸镓镧晶片粗品与胶水脱离，超声波清洗，烘干，得钽酸镓镧晶片。