SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR GROWTH AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

摘要

본 발명은 반도체 성장용 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 반도체 성장용 기판은 표면에 레이저를 조사하여 형성된 결정 구조 변형 영역을 포함한다. 상기 반도체 성장용 기판은 반도체 박막의 구조, 광 및 전기적 특성을 개선하여 이를 이용한 반도체 소자의 특성을 개선하며, 기판의 휨 현상을 개선하여 대면적의 반도체 기판을 제공할 수 있다.