发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH ISOLATING GROOVE CONTAINING SINGLE CRYSTALLINE ALUMINUM WIRING
摘要
申请公布号 US5200639(A) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 US19910707022 申请日期 1991.05.29
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIZUKA, KEIJI;KATAOKA, YUZO;ICHISE, TOSHIHIKO;TAKAHASHI, HIDEKAZU;OHZU, HAYAO
分类号 H01L21/74;H01L21/761 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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