发明名称 PRODUCTION OF VAPOR DEPOSITED FILM AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF VAPOR DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号 JPH05270829(A) 申请公布日期 1993.10.19
申请号 JP19920097215 申请日期 1992.03.24
申请人 发明人
分类号 B01J19/08;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C30B23/08;(IPC1-7):C01G3/00 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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