发明名称 |
METHOD FOR FORMING METAL WIRING OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10326832(A) |
申请公布日期 |
1998.12.08 |
申请号 |
JP19970364123 |
申请日期 |
1997.12.17 |
申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
PARK CHEOL-SOO;KIM DAE YOUNG |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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