光掩模传送支撑座及光掩模传送方法

摘要

本发明提供一种光掩模传送支撑座(reticletransferring support)。该光掩模传送支撑座包括有一支撑基座用来容纳一光掩模，多个支撑点用来支撑该光掩模，以及多个固定架用来固定该光掩模。该各支撑点是由软性塑胶材质组成的椭圆形结构，并可调整位置避免在该光掩模背面造成刮痕。该各固定架内侧为一倾斜面，可在载入光掩模时自动固定该光掩模的位置。

主权项

1.一种光掩模传送支撑座(reticle transferring support)，包括有：一支撑基座(supporting base)，用来容纳一光掩模；多个支撑点(brace)，设置于该支撑基座上用以支撑该光掩模；以及多个固定架(holder)，设置于该支撑基座的边缘部分用以固定该光掩模的位置；其中该各固定架用来使得该光掩模被载入该支撑基座后可与该各固定架内侧的部分端点相接触，以避免该光掩模产生水平位移。