| 发明名称 | 近红外线活性正片型树脂组合物 | ||
| 摘要 | 提供一种近红外线活性型正片型树脂组合物，以及使用该组合物的图案形成方法。所述近红外线感光的正片型树脂组合物，其中含有：(A)乙烯基系聚合物，其具有如下的单体单元，即该单体单元具有被在醚氧的附近具有链烯基的醚封端的碱溶性基团；(B)由近红外区域光线产生热的光热变换性物质；和(C)因热产生酸的热酸发生剂，采用这种近红外线活性型正片型树脂组合物，可以在白色灯光等下完全明亮的室内进行曝光处理，得到所需的感光度和分辩率，可以缓和烘焙处理条件或者省略烘焙处理。 | ||
| 申请公布号 | CN101027609A | 申请公布日期 | 2007.08.29 |
| 申请号 | CN200580024742.7 | 申请日期 | 2005.07.22 |
| 申请人 | 关西油漆株式会社 | 发明人 | 今井玄儿;村山俊一;伊东克浩;萩野治文 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);C08F20/26(2006.01);G03F7/004(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种近红外线活性型正片型光刻胶组合物，是近红外线活性型正片型光刻胶组合物，其特征在于其中含有：(A)乙烯基系聚合物，其具有如下的单体单元，即该单体单元具有被在醚氧的附近具有链烯基的醚封端的碱溶性基团；(B)由近红外区域光线产生热的光热变换性物质；和(C)因热产生酸的热酸发生剂。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||