利用压差测量的气流控制

摘要

本发明揭露一种气体流比较器，其包含一安装于一气体管上以设定通过气体管的气体的气体流量或压力的气体控制单元。一主要分流器包含一连接至气体管的入口端口。第一及第二限流器为连接至主要分流器。一对辅助分流器为各自连接至一限流器的限流器出口。一压差计是连接至辅助分流器。一对喷嘴托架连接至第二分流器，且可连接至第一及第二喷嘴。在操作中，压差计呈现与通过第一与第二喷嘴的气体流速的差异成比例的压差。

主权项

1. 一种气体流比较器，包含：(a)气体控制单元，安装于气体管上，该气体控制单元包含气体控制回馈环路以控制通过该气体管的气体的流速或压力；(b)主要分流器，其包含入口端口及一对输出端口，该入口端口用以接收来自该气体管的该气体；(c)一对限流器，各个该些限流器连接至该主要分流器的输出端口，且各个该些限流器具有限流器出口；(d)一对辅助分流器，各个该些辅助分流器连接至限流器的限流器出口，且各个该些辅助分流器包含一对第一及第二输出端口；(e)压差计，连接至该些辅助分流器的该些第一输出端口二者；以及(f)一对喷嘴托架，各个该些喷嘴托架连接至一辅助分流器的第二输出端口，该些喷嘴托架可连接至第一及第二喷嘴，藉此，通过该些限流器及该些第一与第二喷嘴的气体会造成该压差计呈现与该气体通过该些第一与第二喷嘴的流速的差异成比例的压差。