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摘要
申请公布号
JP2592258(B2)
申请公布日期
1997.03.19
申请号
JP19870177046
申请日期
1987.07.17
申请人
FUJITSU LTD
发明人
USUI YOICHI
分类号
H01J37/09;H01J37/305;H01L21/26;(IPC1-7):H01J37/305
主分类号
H01J37/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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