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发明名称
摘要
申请公布号	JP4234952(B2)	申请公布日期	2009.03.04
申请号	JP20020159138	申请日期	2002.05.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L29/80;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/423;H01L51/00;H01L51/05	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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