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发明名称
摘要
申请公布号
JP4278924(B2)
申请公布日期
2009.06.17
申请号
JP20020181966
申请日期
2002.06.21
申请人
发明人
分类号
H01L29/786;H01L21/3205;H01L21/762;H01L21/768;H01L21/8244;H01L21/84;H01L27/11;H01L27/12
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
主权项
地址
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