发明名称 |
一种高灵敏晶体闸流管 |
摘要 |
本实用新型涉及一种高灵敏晶体闸流管,包括芯片、台面槽(1)、基区(2)以及无机复合抗氧化层(5),所述基区(2)形成在无机复合芯片上,在基区(2)上形成有阳极(7)、阴极(4)和门极(6),所述无机复合抗氧化层(5)上形成有引线孔,所述引线孔分别对准所述的阴极(4)和门极(6)并填充有铝电极,台面槽(1)的槽深低于基区(2)的结深,且所述台面槽(1)与基区(2)形成的夹角为60度。 |
申请公布号 |
CN205595337U |
申请公布日期 |
2016.09.21 |
申请号 |
CN201620126394.X |
申请日期 |
2016.02.18 |
申请人 |
沈阳飞达电子有限公司 |
发明人 |
梁书靖;吴炳刚;张伟;齐凤波 |
分类号 |
H01L29/74(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/74(2006.01)I |
代理机构 |
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 |
代理人 |
侯蔚寰 |
主权项 |
一种高灵敏晶体闸流管,其特征在于:包括芯片、台面槽(1)、基区(2)以及无机复合抗氧化层(5),所述基区(2)形成在无机复合芯片上,在基区(2)上形成有阳极、中间过渡区(3)、阴极(4)和门极(6),所述无机复合抗氧化层(5)上形成有引线孔,所述引线孔分别对准所述的阴极(4)和门极(6)并填充有铝电极,台面槽(1)的槽深低于基区(2)的结深,且所述台面槽(1)与基区(2)形成的夹角为60度;所述芯片为无机复合芯片,所述无机复合芯片由内而外为硅层、碳化硅层和石墨层,所述无机复合抗氧化层由内而外为碳化硅层和氮化硅层;还包括晶闸管,所述晶闸管组通过压装机构固定在框架上;晶闸管组包括至少12个晶闸管单元和至少12个散热器,所述晶闸管单元和散热器间隔排列,且通过并联方式连接。 |
地址 |
110032 辽宁省沈阳市皇姑区鸭绿江街49-1 |