减压真空导入装置

摘要

本实用新型提供一种减压真空导入装置，涉及真空技术领域。该装置用波纹管把运动导入工作真空腔室，波纹管的一侧为工作真空腔室，它的另一侧处于粗密封环境，并与一减压装置相接通，工作时形成低真空，使波纹内外壁的压差大幅度减小，从而有利于导入件的运动，动作灵活，响应时间短。该装置可广泛用于执行各种真空环境中的运动。

主权项

1、一种减压真空导入装置，它包括有驱动系统1，导入件2和波纹管3，其特征在于所述波纹管的内外壁面中的一面处于工作真空腔室4中，另一面处于粗密封环境5中，该粗密封环境5与减压装置8相接通。