Plasma reactor for deposition or etching process,申请号EP19940401885-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	Plasma reactor for deposition or etching process
摘要
申请公布号	EP0641014(B1)	申请公布日期	1997.03.19
申请号	EP19940401885	申请日期	1994.08.23
申请人	ALCATEL CIT	发明人	PEARSON, DAVID
分类号	C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

PROCESO PARA EVITAR LA OXIDACION DE UN SUBSTRATO ORGANICO LIQUIDO

DISPOSITIVO PARA EL MANEJO DE LA CANA DE AZUCAR

NUEVAS 6-ARIL-DIBENZO-(C,E)(1,2)-OXAFOSFORINAS,UN PROCEDIMIENTO PARA SU PREPARACION Y SU UTILIZACION PARA LA ESTABILIZACION DE MATERIALES SINTETICOS,ESPECIALMENTE MASAS DE MOLDEO A BASE POLIOLEFINAS

SUSTITUTOS NOVEDOSOS DE SULFONAMIDAS,PROCESOS DE PREPARACION Y DE MEDICAMENTOS QUE LOS CONTIENEN

AGENTE PREVENTIVO DE INCRUSTACION DE POLIMERO Y METODO PARA PREVENIR LA DEPOSICION DE INCRUSTACION DE POLIMERO UTILIZANDO EL MISMO

PHARE A FAISCEAU ORIENTABLE.

POMPE ELECTRIQUE DE CARBURANT.

PROCEDE DE FABRICATION D'UN RECIPIENT ETIRE BIAXIALEMENT ET RECIPIENT FABRIQUE PAR CE PROCEDE

SUPPORT, OU PORTE-ENSEMBLE, POUR CARTES A CIRCUITS IMPRIMES.

Mould for manufacturing hollow metal components

BANNISTER EXTRUDING TIP

CATALYST PREPARATIVE AND METHOD FOR PRODUCING POLYMERS APPLYING IT

METHOD FOR PRODUCING SEROTONINE ANTAGONISTS

LIQUID HERBICIDAL COMPOSITIONS COMPRISING TENSIDES AND 2-AMINO-4-(METHYLPHOSPHINYL)-BUTYRIC ACID AS ACTIVE INGREDIENT

PROCESS FOR PRODUCING NAPHTHALENE DERIVATIVES AND PHARMACEUTICAL COMPOSITIONS COMPRISING SUCH COMPOUNDS

PROCESS FOR PRODUCING WS7622A-MONOSULFATE AND WS7622A-DISULFATE

PROCESS FOR PRODUCING PIPEIDINE DERIVATIVES AND PHARMACEUTICAL COMPOSITIONS CONTAINING THEM

TISSUE FIXATION ON LOW TEMPERATURE USING MICROWAVES COMBINED WITH VACUUM

QUICK SWITCH FOR HYDRAULICS

PHARMACEUTICAL PREPARATIVES