高精度键合装置

摘要

高精度键合装置，属于对高真空镀膜设备中声光器件换能器键合装置的改进，其特征是由电机、连接套筒及螺杆，控制与螺杆连接的压头沿精密导轨上下滑动，并有行程开关。具有工件对准精度高，速度快，工件加工压力均匀一致，无手工调节，自动控制等优点，能制作高性能的声光器件。

主权项

1、高精度键合装置，连接螺杆(7)的压头(4)对固定在其端面上的声光互作用介质(3)与工作台(14)上的压电换能片(13)压合，其特征在于由电机(9)连接套筒(8)及螺杆(7)，控制与螺杆(7)连接的压头(4)沿精密导轨(2)上下滑动，并有限制上下行程的限位开关(10)、(1)。