可调整膜式电阻器以及形成和调整膜式电阻器的方法

摘要

集成电路的薄膜电阻器(5)包含在电接触焊盘(10，11)之间延伸的、伸长的电阻膜(7)。低阻抗元件(20)覆盖了并被电耦合到电阻膜(7)的中间部分(22)中与电阻膜(7)的第二侧边(17)相邻的部分，用以与中间部分(22)平行地导通电流，以及用以减少中间部分(22)中的电流密度。通过将从第一侧边(16)延伸到电阻膜(7)中的第一和第二狭槽(26，27)间隔开所形成的第一和第二横断边缘(28，29)，其与电阻膜(7)的第一侧边(16)和低阻抗元件(20)一起在中间部分(22)中限定了第一和第二可调整区域(30，31)。通过逐渐地将第一调整狭槽(34)从第一横断边缘(28)延伸到第一可调整区域(30)中来进行薄膜电阻器(5)的粗调(coarse trimming)，并通过将第二调整狭槽(35)从第二横断边缘(29)延伸到第二可调整区域(31)中来进行薄膜电阻器(5)的细调(fine trimming)。

主权项

1.一种膜式电阻器，包括：由电阻性材料制成的电阻膜，该电阻膜在第一端部和与之隔开的第二端部之间纵向延伸，并且具有在对置地隔开的第一和第二侧边之间延伸的对置地隔开的第一和第二主表面，该电阻膜适合于容纳第一和第二端部之间的电流，以及低阻抗元件，该低阻抗元件电耦合到电阻膜，与设置于第一和第二端部之间的电阻膜的中间部分相邻，用以与电阻膜的中间部分平行地导通电流以减小中间部分中电流的电流密度，以便于调整该中间部分中的膜式电阻器的电阻值。