加速度传感器

摘要

本发明提供一种具有高耐冲击力的加速度传感器，当向加速度传感器施加过度加速时，其不会被破坏，而是能够展现稳定的感应性能。加速度传感器由三层结构的SOI衬底11形成，所述三层结构包括硅层12(活性层硅)、二氧化硅层13和硅层14(衬底硅)。加速度传感器包括：框架部分23和27；多个梁部分22，梁部分从框架部分向内伸出；和由梁部分22支撑的重物部分21；以及设在梁部分2a的每一部分上的应变感应部分。梁部分22的每一部分的宽度W、梁部分22的每一部分的长度I以及框架部分23的内部框架长度L满足表达式(1)和(2)的下述关系：2＜L/I≤2.82 表达式(1)；I/W≤3.68 表达式(2)。

主权项

1、一种由三层结构的SOI衬底形成的加速度传感器，所述三层结构包括硅层(活性层硅)、氧化硅层和硅层(衬底硅)，所述加速度传感器包括：框架部分；多个梁部分，所述梁部分从所述框架部分向内伸出；以及由所述梁部分支撑的重物部分；其中：所述梁部分的每一部分设有应变感应部分；以及所述梁部分的每一部分的宽度W、所述梁部分的每一部分的长度I和所述框架部分的内部框架长度L满足表达式(1)和(2)的下述关系：2＜L/I≤2.82 表达式(1)I/W≤3.68 表达式(2)。