蒸镀装置、蒸镀方法及蒸镀装置的制造方法

摘要

蒸镀装置(10)具有：多个蒸镀源(210)，其使收纳的不同成膜材料分别气化；多个喷出机构(110)，其从喷出口(Op)喷出在多个蒸镀源(210)气化的成膜材料；1个或2个以上的隔壁(120)，其将相邻的喷出机构(110)隔开。该1个或2个以上的隔壁分别被配置为如下：从各隔壁(120)到基板(W)的间隙G、从喷出口(Op)到各隔壁(120)的上面的高度(T)、各隔壁的厚度(D)以及从各蒸镀源(210)的中心位置到各隔壁(120)的中心位置的距离(E)满足E＜(G+T)×D×G/2。另外，将蒸镀装置(10)的内部压力控制为0.01Pa以下，使得成膜材料的最长飞行距离短于成膜材料的平均自由行程。通过这样的蒸镀装置(10)，可以一边降低交叉污染，一边在同一处理容器内连续地形成多层膜。

主权项

1.一种蒸镀装置，在处理容器内通过蒸镀对被处理体进行成膜处理，其特征在于，具有：多个蒸镀源，其收纳成膜材料，并使收纳的成膜材料分别气化；多个喷出机构，其分别连接于所述多个蒸镀源，并具有喷出口，从所述喷出口分别喷出在所述多个蒸镀源被气化的成膜材料；以及1个或2个以上的隔壁，其配置于所述多个喷出机构中的相邻的喷出机构之间，将所述相邻的喷出机构分别隔开。